1、適用晶圓：6吋及以下；

2、烘膠面板尺寸：Φ170mm；

3、溫度范圍：室溫-250℃；

4、控溫精度：±0.2℃；

5、溫度波動：≤1%；

6、電源：AC220/50Hz，780W；

7、外形尺寸：W382mm×D282mm×H128mm。