1、適用晶圓尺寸：8吋及以下；

2、勻膠轉(zhuǎn)速范圍：100 轉(zhuǎn)/分 ~ 12000轉(zhuǎn)/分可調(diào)；

3、勻膠時間范圍：1秒 ~ 3000秒可調(diào)；

4、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度：≤±1%；

5、膠的不均勻性：≤±1%；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式：加減速度可調(diào)，可設多種程序控制；

7、機器控制模塊：4.3寸全彩色觸摸屏顯示、燈光閃爍、聲光報警；

8、真空輸入要求：0.07MPa，真空流量≥12L/min；

9、機器其他配置：自帶收液瓶、自帶排風設計；

10、電源：AC220V/50Hz，400W；

11、機器外形尺寸：W312mm×H368mm×D355mm。