1、適用晶圓尺寸：4吋及以下；

2、勻膠轉(zhuǎn)速范圍：400 轉(zhuǎn)/分 ~ 8000轉(zhuǎn)/分；

3、勻膠時(shí)間范圍：1秒 ~ 3000秒；

4、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度：≤±2%；

5、膠的不均勻性：≤±3%；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式：采用變頻電源控制器調(diào)節(jié)；

7、機(jī)器控制模塊：數(shù)碼顯示，微處理器控制；

8、電源：AC220V/50Hz，90W；

9、機(jī)器外形尺寸：W278 mm×H358mm×D248mm。